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NXTR-1A/1B薄膜方塊電阻測(cè)試儀
方阻儀簡(jiǎn)介：
薄膜方塊電阻測(cè)試儀GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測(cè)定方法》、GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流兩探針?lè)ā贰B/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流四探針?lè)ā凡⒖济绹?guó)A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。
薄膜方塊電阻測(cè)試儀主要用來(lái)測(cè)量硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層、導(dǎo)電玻璃（ITO）和其它導(dǎo)電薄膜的方塊電阻。由電氣測(cè)量部份（簡(jiǎn)稱：主機(jī)）、測(cè)試架、四探針頭及**測(cè)量軟件組成。儀器采用四探針單電測(cè)量法適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門(mén)，是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料的一種重要的工具。本儀器配置**測(cè)量裝置可以測(cè)試不同材料。液晶顯示，*需人工計(jì)算，并帶有溫度補(bǔ)償功能，電阻率單位自動(dòng)選擇，儀器自動(dòng)測(cè)量并根據(jù)測(cè)試結(jié)果自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程，*需人工多次和重復(fù)設(shè)置。采用高精度AD芯片控制，恒流輸出，結(jié)構(gòu)合理、輕便，運(yùn)輸、使用方便；選配：配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數(shù)據(jù)，自動(dòng)生成報(bào)表；本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時(shí)顯示液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率，配置不同的測(cè)試治具可以滿足不同材料的測(cè)試要求。
方阻儀使用范圍：
適用于西門(mén)子法、硅烷法等生產(chǎn)**多晶硅料的企業(yè)
薄膜方塊電阻測(cè)試儀適用于物理提*生產(chǎn)多晶硅料生產(chǎn)企業(yè)
適用于光伏拉晶鑄錠及 IC 半導(dǎo)體器件企業(yè)
適用于科研部門(mén)、高等院校及需要**量程測(cè)量電阻率的企業(yè)
方阻儀特點(diǎn)：
可測(cè)方塊電阻：適合檢測(cè)硅芯，檢磷棒，檢硼棒，籽晶等圓柱晶體硅
適用于西門(mén)子法、硅烷法等生產(chǎn)**多晶硅料的企業(yè)
適用于物理提*生產(chǎn)多晶硅料生產(chǎn)企業(yè)
適用于光伏拉晶鑄錠及 IC 半導(dǎo)體器件企業(yè)
適用于科研部門(mén)、高等院校及需要**量程測(cè)量電阻率的企業(yè)
測(cè)試量程大，**電阻率測(cè)試儀
主機(jī)配置了“小游移四探針頭”了一起數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性
儀器消除了珀?duì)柼?yīng)、塞貝克效應(yīng)、少子注入效應(yīng)等負(fù)效應(yīng)的影響，因此測(cè)試精度**提高
測(cè)量精度高，除了具有厚度修正功能外、還有溫度修正、圓片直徑修正等功能
*特的設(shè)計(jì)能**消除測(cè)量引線和接觸電阻產(chǎn)生的誤差，***測(cè)量的高精度和寬的量程范圍
雙數(shù)字表結(jié)構(gòu)使測(cè)量*，操作*簡(jiǎn)便
具有**的測(cè)試數(shù)據(jù)查詢及打印功能
測(cè)量系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)換向測(cè)量、求平均值、值、值、平均百分變化率等
四探針頭采用進(jìn)口紅寶石軸套導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，使探針的游移率減小，測(cè)量重復(fù)性**提高
采用進(jìn)口元器件，留有*大的系數(shù)，**提高了測(cè)試儀的性和使用壽命
測(cè)量電流采用高度穩(wěn)定的**恒流源（**之五精度），不受氣候條件的影響
具有正測(cè)反測(cè)的功能，測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性
具有抗強(qiáng)磁場(chǎng)和抗高頻設(shè)備的性能
方阻儀測(cè)量范圍：
10-5 ------1.9*105Ω?cm
10-4------1.9*104Ω?cm
可測(cè)硅棒尺寸： 長(zhǎng)度300mm；直徑20mm（**按用戶要求*改）
輸出電流：DC0.001-100mA 五檔連續(xù)可調(diào) 測(cè)量范圍：0-199.99mV
靈 敏 度： 10μA
輸入阻抗：1000ΩM
電阻測(cè)量誤差：各檔均低于±0.05%
供電電源：AC 220V ±10% 50/60Hz.
推薦使用環(huán)境：溫度：23±2℃ 相對(duì)溫度：≤65%